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KSS-4L-10D

产品型号 KSS-4L-10D
产品名称 刻蚀上料机
生产工艺 在线式、刻蚀工艺
设备功能 将花篮中的硅片取出输入至链式清洗机。
适用硅片
单晶/多晶 单晶多晶兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工装
花篮工装 4.76×100槽花篮、可定制
设备运行能力
实际运行产能(净产能) ≥8000片/小时
正常运行时间(up time) ≥98%
平均无故障时间(MTBF) MTBF≥500小时
平均故障修复时间(MTTR) MTTR≤1小时
碎片率 ≤0.03% ,A片(不含本身隐裂、线痕等缺陷片)
动力要求
电源 AC220V,50HZ
功率 5KW
压缩空气 0.6MPA,主气路管道直径≥20mm,连接气管直径≥12mm
环境
温度/湿度 0-35℃,40%-60%
洁净度 符合十万级洁净区规范要求
噪音 ≤60db
设备结构
整机重量 3000KG
外形尺寸(mm) 长×宽×高(4100mm×2500mm×2000mm)
设备操作方位 面向主机触摸屏,自动化在左侧是左手机,反之为右手机。
花篮工位 俩轨×俩侧
花篮装卸方式 人工装卸:人工装卸时,手工直接将花篮放置于花篮工作台;
亦可对接AGV小车。

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