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ZRS-4D-4L2
产品型号 ZRS-4D-4L2
产品名称 槽式制绒上料机(四通道)
生产工艺 在线式,清洗工艺
设备功能 将堆叠盒中的硅片装入湿花篮,并将湿花篮输入槽式清洗机。
适用硅片
单晶/多晶 单晶多晶兼容
外形尺寸 156.75mm×156.75mm至166mm×166mm
厚度 160μm-220μm
工装
堆叠盒工装 凤凰堆叠盒、可定制
花篮工装 4.76×100槽湿花篮、可定制
设备运行能力
实际运行产能(净产能) ≥9000片/小时
正常运行时间(up time) ≥98%
平均无故障时间(MTBF) MTBF≥500小时
平均故障修复时间(MTTR) MTTR≤1小时
碎片率 ≤0.05% ,A片(不含本身隐裂、线痕等缺陷片)
动力要求
电源 AC220V,50HZ
功率 8KW
压缩空气 0.6MPA,主气路管道直径≥20mm,连接气管直径≥16mm
环境
温度/湿度 0-35℃,40%-60%
洁净度 符合十万级洁净区规范要求
噪音 ≤60db
设备结构
整机重量 5000KG
外形尺寸(mm) 长×宽×高(5065mm×3178mm×2200mm)
设备操作方位 自动化不分左右手
花篮工位 四工位
堆叠盒工位 三工位×4轨
花篮装卸方式 人工装卸:人工装卸时,手工直接将花篮放置于花篮工作台;亦可对接AGV小车。
堆叠盒装卸方式 手动装卸

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